Jul, 2023
基于混合 ASP 的半导体制造流程多目标调度(扩展版)
Hybrid ASP-based multi-objective scheduling of semiconductor manufacturing processes (Extended version)
Mohammed M. S. El-Kholany, Ramsha Ali, Martin Gebser
TL;DR本研究使用混合 Answer Set Programming 和差分逻辑对真实半导体制造过程进行调度,包括机器处理、设置、批处理和维护操作,并研究了面向多个优化目标的大规模调度的潜力。