Nov, 2023
应用机器学习模型预测器件电气性能的度量数据分析
Applying Machine Learning Models on Metrology Data for Predicting Device Electrical Performance
Bappaditya Dey, Anh Tuan Ngo, Sara Sacchi, Victor Blanco, Philippe Leray...
TL;DR摘要:本研究使用了 imec N14 BEOL 工艺流程以及 LELE 图案技术,在半导体设备制造中分析和控制叠加误差,研究其对电容的影响,并探索在早期阶段使用机器学习模型预测最终电容测量结果的方法。