Aug, 2024

基于组件离散事件仿真模型的半导体制造的基准时间序列数据集

TL;DR本研究针对智能制造工厂中缺乏公开可用基准仿真模型的问题,提出了一种建基于英特尔半导体制造工厂的时间序列数据集。该数据集通过离散事件仿真模型构建,能够高效生成机器学习模型,促进半导体设备的行为分析和建模创新。