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发现沉积过程的规则:利用无监督学习进行过程洞察、代理模型和敏感性分析
本研究介绍了一种综合方法,利用数据驱动方法来阐明化学气相沉积(CVD)反应器中的沉积过程机制,并揭示了各个机制之间相互作用。该研究通过实验证明,采用流场分布(CFD)模型衍生的过程结果可以识别出对应于不同过程机制的 “结果” 簇,其中输入变
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2 months ago
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