Mar, 2023

DevelSet:基于深度神经水平集的即时掩模优化

TL;DR本文提出了 DevelSet 框架,它是一种 GPU 加速的、基于深度神经网络的水平集 OPC 框架,可用于金属层的光刻,相比于现有技术,在适性和运行时间方面有显著提升。