ICMLMay, 2024

ILILT:逆向光刻技术的隐式学习

TL;DR该论文提出了一种隐式学习的 ILILT 框架,利用隐式层学习方法和光刻条件输入,以获取高质量的优化掩模,从而大幅提高效率和质量。