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automated semiconductor defect inspection
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扫描电子显微镜图像中的自动半导体缺陷检测:系统综述
半导体材料和器件中检测缺陷的高效准确方法需求日益增长。这篇文章通过对 38 篇相关研究论文进行系统回顾,全面总结了基于扫描电子显微镜图像的自动化半导体缺陷检测的现状,包括最新创新和发展,提供了方法的综合概述和分析,并对未来工作提出了有希望的
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