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ICML
ILILT:逆向光刻技术的隐式学习
该论文提出了一种隐式学习的 ILILT 框架,利用隐式层学习方法和光刻条件输入,以获取高质量的优化掩模,从而大幅提高效率和质量。
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2 months ago
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