Jul, 2022
基于卷积傅里叶神经算子和光刻指导自训练的大规模掩模优化
Large Scale Mask Optimization Via Convolutional Fourier Neural Operator and Litho-Guided Self Training
Haoyu Yang, Zongyi Li, Kumara Sastry, Saumyadip Mukhopadhyay, Anima Anandkumar...
TL;DR本文提出了一种能够通过学习版图瓦片依赖性来实现无需传统工具干预的无缝大规模光刻版优化的卷积傅里叶神经操作器(CFNO),并通过训练机器学习模型发现了光刻引导的自学习(LGST)的可能性,实现了迭代模型和数据集更新,加快了优化速度,并优于同类学术数值版优化器。