May, 2023
利用贝叶斯优化光学等离子体发射实现薄膜氮化物的自主溅射合成及成分控制
Autonomous sputter synthesis of thin film nitrides with composition controlled by Bayesian optimization of optical plasma emission
Davi M. Febba, Kevin R. Talley, Kendal Johnson, Stephen Schaefer, Sage R. Bauers...
TL;DR利用高度自动化的溅射反应器、光电发射光谱和贝叶斯优化算法,模拟薄膜成分并最小化发射信号的测量误差,将多种元素的准确控制引入溅射沉积过程,实现了制备具有特定组成、误差小的薄膜的自主化实验方法。