semiconductor defect inspection | BriefGPT

关键词semiconductor defect inspection

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面向基于 SEMI-SuperYOLO-NAS 的高数值孔径 EUVL 的半导体缺陷检测的改进
该研究提出了一个可提高成像工具缺陷检测吞吐量的 ADCD 框架，该框架通过在低分辨率图像中检测纳米级缺陷实例来解决高深度聚焦挑战，并通过 SR 辅助分支实现不同分辨率图像上的缺陷检测推断，无需明确训练。
PDF3 months ago
SEMI-CenterNet: 半导体缺陷检查的机器学习促进方法
本研究提出了基于深度学习的半导体缺陷检测方法 SEMI-CenterNet，在 SEM 图像中实现了缺陷的高效定位和分类，并显著改善了推断时间。通过在两个数据集上训练和使用自定义 SEM 数据集的迁移学习，减少了传统训练方法所需的训练时间，
PDFa year ago
基于半扩散模型的半导体缺陷分类和分割方法 (SEMI-DiffusionInst)
本研究针对制造领域中先进节点技术中扫描电子显微镜图像的缺陷检测问题，提出了一个名为 “SEMI-DiffusionInst” 的新的半导体缺陷检测框架，并证明了该方法可以准确地检测并划分缺陷图案
PDFa year ago
基于深度学习的扫描电子显微镜图像缺陷分类和检测：一种 Mask R-CNN 方法
本研究展示了将深度学习算法 Mask-RCNN 应用于半导体缺陷检测领域，通过改进缺陷实例分割技术，成功地检测和分割在半导体制造过程中不同类型的随机缺陷图案，并且可以精确计算缺陷表面积和数量。
PDF2 years ago