Aug, 2023

SEMI-CenterNet: 半导体缺陷检查的机器学习促进方法

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TL;DR本研究提出了基于深度学习的半导体缺陷检测方法 SEMI-CenterNet，在 SEM 图像中实现了缺陷的高效定位和分类，并显著改善了推断时间。通过在两个数据集上训练和使用自定义 SEM 数据集的迁移学习，减少了传统训练方法所需的训练时间，获得了最佳的平均精确度。
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发现论文，激发创造
  • 基于半扩散模型的半导体缺陷分类和分割方法 (SEMI-DiffusionInst)

    本研究针对制造领域中先进节点技术中扫描电子显微镜图像的缺陷检测问题，提出了一个名为 “SEMI-DiffusionInst” 的新的半导体缺陷检测框架，并证明了该方法可以准确地检测并划分缺陷图案

    Jul, 2023

  • 基于深度学习的扫描电子显微镜图像缺陷分类和检测：一种 Mask R-CNN 方法

    本研究展示了将深度学习算法 Mask-RCNN 应用于半导体缺陷检测领域，通过改进缺陷实例分割技术，成功地检测和分割在半导体制造过程中不同类型的随机缺陷图案，并且可以精确计算缺陷表面积和数量。

    Nov, 2022

  • 面向基于 SEMI-SuperYOLO-NAS 的高数值孔径 EUVL 的半导体缺陷检测的改进

    该研究提出了一个可提高成像工具缺陷检测吞吐量的 ADCD 框架，该框架通过在低分辨率图像中检测纳米级缺陷实例来解决高深度聚焦挑战，并通过 SR 辅助分支实现不同分辨率图像上的缺陷检测推断，无需明确训练。

    Apr, 2024

  • 扫描电子显微镜图像中的自动半导体缺陷检测：系统综述

    半导体材料和器件中检测缺陷的高效准确方法需求日益增长。这篇文章通过对 38 篇相关研究论文进行系统回顾，全面总结了基于扫描电子显微镜图像的自动化半导体缺陷检测的现状，包括最新创新和发展，提供了方法的综合概述和分析，并对未来工作提出了有希望的方向。

    Aug, 2023

  • 晶片地圖缺陷模式半監督分類使用潛在向量表示

    这篇论文提出了一种利用预训练的 VAE 模型获取晶圆图故障分布信息，并结合原始图像集进行半监督模型训练的方法。通过师生网络的迭代学习，该模型在 WM-811K 晶圆数据集上验证得到了卓越的分类准确性和检测性能，实现了对工业应用的要求，并在性能上有显著的提升。

    Oct, 2023

  • 基于强化学习的半导体缺陷定位的特征提取器基准化

    该研究通过使用深度强化学习方法，从逐渐缩小的输入图像区域中迭代地提取特征，比较了使用不同特征提取器训练的 18 个代理商的结果，并讨论了不同特征提取器的优缺点以及针对半导体缺陷定位的深度强化学习框架的一般优势和劣势。

    Nov, 2023

  • 基于二维正弦图的计算机断层成像中的缺陷定位方法

    该论文介绍了深度学习在计算机断层成像领域的应用，提出了一种基于三步深度学习算法的综合缺陷检测方法，包括缺陷分割、蒙版分离和缺陷分析。使用 U-Net 架构进行缺陷分割，在模拟数据上达到 92.02％的 IoU，并在 512 像素宽的探测器上实现了 1.3 像素的平均位置误差。

    Jan, 2024

  • 利用卷积神经网络和迁移学习进行制造缺陷检测和分割

    提出了一种基于掩膜区域卷积神经网络（Mask Region-based CNN）的系统，用于在 X 射线图像中识别铸造缺陷。该系统同时执行输入图像的缺陷检测和分割，并采用转移学习来减少训练数据需求并提高训练模型的预测准确性。

    Aug, 2018

  • 表面缺陷检测的混合监督：从弱监督到全监督学习

    本研究提出了一种基于深度学习的表面缺陷检测方法，通过利用不同粒度的注释信息从弱标注到像素级其间不同层面进行标注，实现了注释成本的降低，同时取得了在工业质量检验几个数据集上的最优结果。

    Apr, 2021

  • 一种新的知识蒸馏网络用于增量式少样本表面缺陷检测

    本文针对表面缺陷检测中的数据增量问题，提出了一种基于知识蒸馏和预训练 - 微调迁移学习范式的新型检测网络 DKAN，通过特征和分类知识对齐来解决遗忘和误分类问题，在 NEU-DET 数据集上实验证明其有效性，表现优于其他方法。

    Sep, 2022