Nov, 2023
基于强化学习的半导体缺陷定位的特征提取器基准化
Benchmarking Feature Extractors for Reinforcement Learning-Based Semiconductor Defect Localization
Enrique Dehaerne, Bappaditya Dey, Sandip Halder, Stefan De Gendt
TL;DR该研究通过使用深度强化学习方法,从逐渐缩小的输入图像区域中迭代地提取特征,比较了使用不同特征提取器训练的 18 个代理商的结果,并讨论了不同特征提取器的优缺点以及针对半导体缺陷定位的深度强化学习框架的一般优势和劣势。